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羅茨泵是沒有內(nèi)壓縮的真空泵，因?yàn)橥ǔ嚎s比低，所以高中真空泵需要前段泵。 羅茨泵的極限真空除了取決于泵自身的結(jié)構(gòu)和制造精度之外，還取決于前段泵的極限真空。 為了提高泵的極限真空度，可以串聯(lián)使用羅茨泵。

羅茨泵的工作原理

抽出羅茨泵時(shí)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子由傳動(dòng)比為1的一對齒輪驅(qū)動(dòng)，進(jìn)行相互反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。 轉(zhuǎn)子之間不接觸，其間有間隙。

羅茨泵的抽氣特性

在寬的壓力范圍內(nèi)有很大的吸引速度

轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵室壁之間有間隙，泵室內(nèi)運(yùn)動(dòng)部件無摩擦，不需潤滑，泵室內(nèi)無油

轉(zhuǎn)子形狀對稱，動(dòng)平衡性能良好，運(yùn)行順暢，選擇高精度齒輪傳動(dòng)，運(yùn)行時(shí)噪音低，可獲得高轉(zhuǎn)速(提升速度)

羅茨泵在抽氣過程中其工作空間的容積不變，即“無內(nèi)壓縮”，這與很多可變?nèi)萘渴秸婵毡貌煌?/span>

氣體的排出：當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)排氣口的邊緣，封閉空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)的氣體壓力高，一部分高壓氣體被推到封閉空間，使空間內(nèi)的氣體壓力突然上升到排氣壓力，即所謂的“外壓縮過程”。 轉(zhuǎn)子持續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體排出泵外。